1. 頻率的選擇：

目前超聲波清洗機的工作頻率根據清洗對象，大致分為三個頻段：低頻超聲清洗(20——50KHz) ，高頻超聲清洗(50——200KHz) 和兆赫超聲清洗

(700KHz——1MHz 以上) 。低頻超聲清洗適用于大部件表面或者污物與清洗件表面結合強度高的場合。頻率的低端，空化強度高，易腐蝕清洗件表面，不適宜清洗表面光潔度高的部件，而且空化噪聲大。

超聲空化閾值和超聲波的頻率有密切關系。頻率越高，空化閾越高，換句話說，頻率越高，在液體中要產生空化所需要的聲強或聲功率也越大；頻率低，空化容易產生。同時在低頻情況下，液體受到的壓縮和稀疏作用有更長的時間間隔，使氣泡在崩潰前能生長到較大的尺寸，增高空化強度，有利于清洗作用。40KHz 左右的頻率，在相同聲強下，產生的空化泡數量比頻率為20KHz 時多，穿透力較強，宜清洗表面形狀復雜或有盲孔的工件，空化噪聲較小。但空化強度較低，適合清洗污物與被清洗件表面結合力較弱的場合。高頻超聲清洗適用于計算機精密零部件的清洗。對于一些難清洗干凈的污物，例如金屬表面的氧化物，化纖噴絲板孔中污物的清洗，則需要采用較高的聲強。此時被清洗面應貼近聲源，這時大多不采用槽式清洗器，而用棒狀聚焦式換能器直接插入清洗液靠近清洗件的表面進行清洗。而微電子元件的精密清洗，如磁盤、驅動器，讀寫頭，液晶玻璃及平面顯示器，微組件和拋光金屬件等的清洗，這些清洗對象要求在清洗過程中不能受到空化腐蝕，要能洗掉微米級的污物。兆赫超聲清洗適用于集成電路芯片、硅片及簿膜等的清洗，能去除微米、亞微米級的污物而對清洗件沒有任何損傷，因為此時不產生空化。其清洗機理主要是聲壓梯度，粒子速度和聲流的作用。特點是清洗方向性強，被清洗件一般置于與聲束平行的方向。

2. 功率的選擇：

超聲波清洗效果不一定與（功率×清洗時間）成正比，有時用小功率，花費很長時間也沒有清除污垢。而如果功率達到一定數值，有時很快便將污垢去除。若選擇功率太大，空化強度將大大增加，清洗效果是提高了，但這時使較精密的零件也產生蝕點，得不償失，而且清洗缸底部振動板處空化嚴重，水點腐蝕也增大，在采用三氯乙烯等有機溶劑時，基本上沒有問題，但采用水或水溶性清洗液時，易于受到水點腐蝕，如果振動板表面已受到傷痕，強功率下水底產生空化腐蝕更嚴重，因此要按實際使用情況選擇超聲功率。

3. 清洗劑的選擇：

a. 清洗劑的分類：

目前市面上清洗劑的廠家很多，清洗劑的品種也五花八門，按照是否與水互溶來分，有可溶于水的水基清洗劑和不溶于水的溶劑型清洗劑。 b. 非ODS 溶劑和環保清洗劑： ODS 溶劑即對地球環境特別是對地球大氣層中臭氧層中的臭氧起破壞

作用、造成地球環境惡化如氣溫上升、氣候變暖等等的有關像氟利昂（CFC-113），三氯乙烷（TCA ），二氯甲烷，四氯化碳，四氯乙烯(也稱全氯乙烯) 、天臘水、苯、甲苯等氟化物、鹵代烴化合物的統稱。

在中國使用ODS 溶劑zui典型的行業是液晶LCD （液晶）的清洗，LCD 清洗屬于精密清洗領域，對清洗的質量、效率要求很高，以前LCD 工廠大多使用的是ODS 清潔劑和超聲氣相清洗技術，在上加速淘汰ODS 清潔劑的壓力下，LCD 廠正在積極選用替代ODS 清潔劑(或稱非ODS 清洗劑) ，替代清洗劑必須保證清洗的LCD 質量不低于原用ODS 清洗劑的清洗標準, 甚至更高。

到目前為止，LCD 行業已有15家企業參與了《中國清洗行業ODS 整體淘汰計劃》，并獲得多邊基會贈款。其中已有10家企業的替代設備投入運行。但仍有少數LCD 廠繼續使用CFC-113及TCA 。部分已淘汰ODS 清洗劑的企業也面臨進一步優選工藝、設備及非ODS 清洗劑，以便提高LCD 清洗品質及效益的問題。

適用于LCD 行業的非ODS 清洗劑有水基、半水基和溶劑型三種, 水基、半水基清洗劑適用于超聲水洗工藝路線，溶劑型清洗劑適用于氣相超聲清洗工藝路線。

水基、半水基及溶劑型三種替代清洗劑中，水基清洗劑的清洗速度遠遠不及溶劑和半水基型清洗劑。其原因有二：一是水基清洗劑去除LCD 殘留液晶以表面活性劑與液晶的乳化作用為主，乳化對超聲波的依賴性較大；二是水的表面張力比溶劑大，對狹縫的濕潤性能較差。而表面張力較低的半水基和溶劑型清洗劑與液晶是一種溶解作用。

可用于直接替代CFC-113氣相清洗劑的溶劑型清洗劑包括HCFC 、HFC 、n-PB 、HFE 、低沸點碳氫化合物及其含氧衍生物。其中HCFC 類如HCFC141b 、HCFC225, 因ODP （臭氧層破壞系數，CFC-113＝1）值不等于0，為過渡性替代物；n-PB 等鹵代烴在有水存在時對ITO 具有較大的腐蝕性, 而且n-PB 的毒性至今尚無定論；HFC 及HFE 類的優點是ODP 等于0，但價格昂貴，且HFC4310具有*的GWP 值（地球溫室效應系數），低沸點的碳氫化合物及其含氧衍生物zui大的問題是易燃易爆，使用該類清洗劑必須采用有防爆功能的清洗設備。

4. 影響超聲波清洗機清洗效果的幾個因素：

ａ. 溫度的影響：

水清洗液zui適宜的清洗溫度為40-60℃，尤其在天冷時若清洗液溫度低空化效應差，清洗效果也差。因此有部分清洗機在清洗缸外邊繞上加熱電熱絲進行溫度控制，當溫度升高后空化易發生，所以清洗效果較好。當溫度繼續升高以后，空泡內氣體壓力增加，引起沖擊聲壓下降，反應出這兩因素的相乘作用。

b. 清洗劑的影響：

清洗劑的選擇要從兩個方面來考慮：一方面要從污物的性質來選擇化學作用效果好的清洗劑；另一方面要選擇表面張力、蒸氣壓及枯度合適的清洗劑，因為這些特性與超聲空化強弱有關。液體的表面張力大則不容易產生空化，但是當聲強超過空化閾值時，空化泡崩潰釋放的能量也大，有利于清洗。高蒸氣壓的液體會降低空化強度，而液體的粘滯度大也不容易產生空化，因此蒸氣壓高和粘度大的潔洗劑都不利于超聲清洗。 此外，清洗液的溫度和靜壓力都對清洗效果有影響，清洗液溫度升高時，空化核增加，對空化的產生有利，但是溫度過高，氣泡中的蒸氣壓增大，空化強度會降低，所以溫度的選擇要同時考慮對空化強度的影響，也要考慮清洗液的化學清洗作用每一種液體都有一空化活躍的溫度，水較適宜的溫度是60——C，此時空化zui活躍。 清洗液的靜壓力大時，不容易產生空化，所以在密閉加壓容器中進行超聲清洗或處理時效果較差。